
Являясь ключевым устройством для получения информации, МЭМС-датчики играют огромную роль в развитии миниатюризации различных сенсорных устройств и широко используются в космических спутниках, ракетах-носителях, аэрокосмическом оборудовании, самолетах, различных транспортных средствах, биомедицинской и бытовой электронике.
С развитием электронных технологий области применения МЭМС становятся все более обширными, переходя от первых промышленных и военно-авиационных применений к обычным гражданским и потребительским рынкам. В смартфонах МЭМС-датчики находят широкое применение в звуковоспроизведении, переключении сцен, распознавании жестов, ориентации, датчиках температуры/давления/влажности; в автомобилях МЭМС-датчики повышают эффективность работы автомобиля за счет использования датчиков столкновения подушек безопасности, систем контроля давления в шинах (TPMS) и контроля устойчивости автомобиля; в медицине с помощью МЭМС-датчиков были успешно разработаны микроинсулиновые насосы, благодаря чему шунтирование сердца и пересадка искусственных клеточных тканей стали реальными методами лечения; в носимых устройствах МЭМС-датчики позволяют отслеживать движения, измерять частоту сердечных сокращений и многое другое.

В настоящее время на датчики давления, акселерометры, гироскопы и датчики расхода в совокупности приходится 99% автомобильных МЭМС-систем.
МЭМС-датчики давления являются наиболее широко используемыми датчиками в автомобилях, причем по крайней мере 18 областей применения в автомобильной промышленности способствуют росту числа датчиков давления, включая давление в шинах, тормозные датчики в электронных системах контроля устойчивости, боковые подушки безопасности, управление двигателем в связи с ужесточением норм выбросов, атмосферное давление и давление рециркуляции выхлопных газов. В качестве материала в этом датчике используется монокристаллический кремний, а для создания чувствительной к силе нажатия мембраны в центре материала применяется технология MEMS. Затем на мембрану диффундируют примеси, образуя четыре тензорезистора, которые соединяются в цепь с помощью моста Витстоуна для достижения высокой чувствительности. Существует несколько распространенных форм МЭМС-датчиков давления для транспортных средств, включая емкостные, пьезорезистивные, дифференциально-трансформаторные и на поверхностных акустических волнах.
МЭМС-акселерометр Принцип действия МЭМС-акселерометра основан на законе классической механики Ньютона. Обычно он состоит из системы подвеса и детектируемой массы. Определение ускорения достигается за счет смещения блоков микрокремниевых масс. В основном он используется в автомобильных системах подушек безопасности, противоскользящих системах, автомобильных навигационных системах, противоугонных системах и т.д. Помимо емкостных и пьезорезистивных типов, среди МЭМС-акселерометров выделяют пьезоэлектрические, туннельные токовые резонансного типа и термопарные. Среди них емкостные МЭМС-акселерометры обладают такими характеристиками, как высокая чувствительность и минимальное влияние температуры, что делает их основным продуктом в области МЭМС-микроакселерометров.
Микрогироскоп - это датчик угловой скорости, используемый в основном для компенсации GPS-сигнала в системах автомобильной навигации и управления автомобильным шасси и состоящий в основном из вибрационного типа, роторного типа и других типов. Наиболее широко применяются вибрационные гироскопы, в которых для измерения угловой скорости используется эффект Кориолиса, создаваемый вибрирующими блоками масс из монокристаллического или поликристаллического кремния при вращении основания. Например, при повороте автомобиля система измеряет угловую скорость с помощью гироскопа, чтобы определить, на месте ли рулевое колесо. Чтобы предотвратить выезд автомобиля за пределы полосы движения, система активно притормаживает внутренние или внешние колеса. Как правило, он образует систему активного управления вместе с низкорасположенным акселерометром.
МЭМС-датчик расхода МЭМС-датчик расхода основан на принципе традиционных горячепленочных анемометров и использует передовую тонкопленочную технологию для обработки стабильных тонкопленочных резисторов на единой тонкой пленке. Благодаря использованию МЭМС-технологии, с одной стороны, сокращается время отклика датчика, а с другой - передний и задний мостовые контуры используются для определения направления потока жидкости и дальнейшего измерения скорости потока в рефлюксе. Для предотвращения влияния температурных изменений на точность измерений в датчике используются два термистора, компенсирующие температуру переднего и заднего мостов. Датчик расхода воздуха в основном используется для определения объема всасываемого воздуха и впрыска топлива в двигатель, что позволяет регулировать соотношение воздух-топливо вблизи оптимального значения. Кроме того, датчик расхода воздуха широко используется во многих областях, таких как рециркуляция отработавших газов, антипробуксовочная система, антиблокировочная система тормозов и электронное управление подвеской.
Согласно данным продаж, в пятерку ведущих автомобильных МЭМС-датчиков, расположенных в порядке убывания, входят ESC, подушки безопасности, абсолютное давление во впускном коллекторе (MAP), TPMS и система обнаружения кренов.
Применение МЭМС-датчиков в бытовой электронике стало возможным благодаря быстрому развитию сферы бытовой электроники и инновациям в области продукции, особенно благодаря быстрому развитию смартфонов и планшетных панелей. Потребительская электроника заменила автомобильную сферу в качестве крупнейшего рынка применения МЭМС. На долю МЭМС-датчиков в мобильных телефонах и планшетах приходится почти 90% рынка МЭМС-датчиков для потребительской электроники. Области применения МЭМС-датчиков в бытовой электронике включают обнаружение движения/падения, компенсацию навигационных данных, игровой/человеко-машинный интерфейс, управление питанием, улучшение работы GPS/устранение слепых зон, подсчет скорости/расстояния и т.д. Эти МЭМС-технологии значительно повысили удобство работы пользователя.
Защита от падения жестких дисков в терминальных устройствах - одно из представительных применений МЭМС-датчиков движения, имеющих значительное историческое значение на рынке потребительской электроники. Трехосевой акселерометр, установленный в ноутбуке, способен отслеживать ускорение, поскольку имеет специальные функции и схемы обработки данных. Он может обнаружить неожиданное падение жесткого диска и своевременно дать команду на втягивание считывающей и записывающей головки в безопасное положение, чтобы предотвратить их повреждение при падении компьютера на пол.
Мобильные телефоны являются крупнейшей областью применения МЭМС в потребительских товарах. Среди МЭМС-микрофонов, 3D-ускорителей, радиочастотных пассивных и активных компонентов, гироскопов для стабилизации камеры и GPS, небольших топливных элементов и биохимических чипов наиболее часто используемыми датчиками являются акселерометры, гироскопы и кремниевые МЭМС-микрофоны, причем акселерометры являются крупнейшим прикладным продуктом на этом рынке. В последнее время гироскопы быстро развиваются и стали вторым по величине прикладным продуктом после акселерометров.
В 2015 году объем продаж МЭМС-микрофонов превысил 1 млрд. долл., а в отчете IHS Global Industry Research Report в США утверждается, что мировой рынок МЭМС-микрофонов будет продолжать поддерживать совокупный годовой темп роста (CAGR) на уровне 18% в течение пяти лет подряд. Существуют также некоторые МЭМС-датчики, которые только вышли на рынок, такие как магнитометры, датчики отпечатков пальцев, датчики окружающей среды, МЭМС-камеры для мобильных устройств и т.д. Количество, масштаб и разнообразие МЭМС-датчиков в мобильных приложениях продолжает быстро расти.
Компания Apple впервые применила МЭМС-акселерометры в iPhone в 2007 году, что стало началом революции датчиков в индустрии мобильных телефонов. В iPhone 6 Plus используются такие МЭМС-датчики, как акселерометры, гироскопы, электронные компасы, барометры, датчики отпечатков пальцев, датчики приближения и внешней освещенности, МЭМС-микрофоны и датчики изображения. На сегодняшний день Apple принадлежит более 350 патентов на изобретения, связанные с датчиками, включая приложения для сенсорного управления, формирования изображений, датчиков движения и вибрации, обработки данных, восприятия падения и яркости.
Игровая приставка является ярким представителем приложений для отслеживания движений и распознавания жестов. В качестве примера можно привести революционную игровую приставку Nintendo Wii, в которой используется трехосевой акселерометр MEMS, позволяющий улавливать любые мельчайшие действия игрока, благодаря чему игрок может погрузиться в атмосферу реальной игры и интегрироваться в нее посредством различных действий, например, имитировать игру в настоящий теннис, привлекательную игру в гольф, напряженный боксерский или спокойный рыболовный поединок.
Высокая энергоэффективность и низкая стоимость микро МЭМС-датчиков полностью изменили способ взаимодействия людей с мобильными терминальными устройствами. В различных мобильных терминалах, игровых приставках, пультах дистанционного управления и других устройствах с помощью МЭМС-датчиков можно реализовать расширенные функции и увлекательные пользовательские интерфейсы. Пользователи могут активировать соответствующие функции с помощью жестов и прикосновений. Это стало важной вехой на пути "модернизации и обновления" потребительской электроники. Интеллектуальные носимые устройства в настоящее время являются наиболее популярным новым продуктом, и к используемым в них сенсорным компонентам обычно предъявляются более жесткие требования по размерам, энергопотреблению, чувствительности сенсора или надежности компонентов. Наиболее успешными компонентами являются инерционные датчики и МЭМС-микрофоны, в том числе таких известных производителей, как Google, Apple, Microsoft и Motorola, которые интегрировали эти два компонента в свои собственные носимые устройства и сделали их стандартным сенсорным оборудованием.
Два основных функциональных проекта интеллектуальных носимых устройств - это количественный самоконтроль и портативный мониторинг безопасности окружающей среды. Необходимые функции датчиков можно условно отнести к четырем категориям: датчики активности, датчики изображения, датчики окружающей среды и физиологические датчики. Применение МЭМС-компонентов в носимых устройствах требует достижения таких целей, как миниатюризация, низкое энергопотребление, высокая производительность и многофункциональная интеграция системы.
Фитнес и мониторинг состояния здоровья - это типичные области применения МЭМС-датчиков в интеллектуальных носимых устройствах. В шагомерах используется трехосевой МЭМС-датчик ускорения. В определенных ситуациях датчик шагомера может точно измерять ускорение, действующее на систему во время ходьбы и бега. Обрабатывая данные об ускорении, шагомер отображает количество шагов и скорость, пройденную пользователем, а также количество тепла, затраченного при движении тела.
Применение МЭМС-датчиков в аэрокосмической технике.
Применение МЭМС-датчиков в аэрокосмической области требует адаптации к различным космическим средам, включая вакуум, электромагнитное излучение, излучение высокоэнергетических частиц, плазму, микрометеороиды, планетарную атмосферу, магнитное поле и гравитационное поле, а также наведенную среду, возникающую при работе некоторых систем КА или под действием космической среды, например, вибрационную и ударную среду, возникающую при зажигании орбитального управляющего движителя и выдвижении крыльев солнечных батарей; индуцированное магнитное поле, возникающее при движении магнитных материалов и токовых цепей космических аппаратов в пространственном магнитном поле; молекулярное загрязнение, вызванное осаждением выбросов органических материалов на других частях космических аппаратов.
Поэтому аэрокосмические датчики в основном включают в себя датчики состояния и датчики окружающей среды. К первым относятся датчики положения в реальном времени различных подвижных частей, таких как закрылки, положения элеронов, размеры сопел, положения дроссельной заслонки, положения скоростного тормоза, положения убирающихся и выдвигающихся шасси, датчики состояния самолета, такие как датчики угла атаки, угла бокового скольжения, датчики ориентации самолета, и различных параметров, таких как давление гидравлики, давление масла, вибрация двигателя, металлическая стружка смазочного масла, различные расходные материалы, такие как остаток топлива, норма расхода и т.д., а также датчики льда, датчики пожарной сигнализации, датчики предела, перегрузки, жизни, датчики автоматического преобразования для различных систем превышения. К датчикам окружающей среды в основном относятся датчики температуры, датчики влажности, датчики кислорода, датчики давления, датчики расхода и т.д.
МЭМС-датчики имеют пять основных направлений использования в аэрокосмической области:
① Предоставление информации о работе космических аппаратов и роль в диагностике неисправностей;
② Определение координации работы между различными подсистемами и проверка проектного плана;
③ Предоставлять информацию, необходимую для самопроверки всей системы, чтобы обеспечить основу для принятия решений командирами;
④ Обеспечить параметры внутренних испытаний для каждой подсистемы и всей машины для проверки правильности конструкции.
⑤ Контролировать внутреннюю и внешнюю среду летательного аппарата, обеспечивать необходимые условия выживания пилотов и космонавтов, а также нормальные параметры полета.
Электронные устройства, состоящие из МЭМС-датчиков
МЭМС-датчики находят широкое применение в электронном оборудовании, конструкции летательных аппаратов и микроспутниковых технологиях в авиации. Непосредственно бортовой распределенный компьютер данных о состоянии атмосферы состоит из многофункционального микродатчика данных о состоянии атмосферы (или комбинированной трубки Пито), микродатчика давления (статического давления, перепада давления и динамического давления) и блока обработки сигналов, интегрирующего общее давление, статическое давление и угол атаки, и упаковывается в оболочку, образуя МЭМС.
Инерциальная навигационная система на основе МЭМС
Микроинерциальная навигационная система объединяет микрогироскопы, микроакселерометры и блоки обработки их сигналов. Система изготавливается преимущественно из кремниевого материала с применением технологии МЭМС. Ее объем и масса уменьшаются не менее чем на 2-3 порядка по сравнению с традиционными инерциальными навигационными системами.
Микроинерциальный измерительный блок (МИБ), изготовленный по технологии МЭМС, не имеет вращающихся частей и значительно превосходит традиционные инерциальные приборы по сроку службы, надежности, стоимости, объему и массе. Выпускаемые стандартизированные и высокопроизводительные приборы для измерения ориентации космических аппаратов имеют лучшие характеристики, дешевле и могут использоваться на аэрокосмических платформах. Использование МЭМС-устройств позволяет значительно снизить массу прибора.
МЭМС-датчики ускорения используются в аэрокосмической технике в системах ориентации и курсоуказания; инерциальном измерительном блоке; навигационной системе летательного аппарата; системе управления полетом; структурных испытаниях в полете, включая испытания на флаттер; испытаниях системы здоровья; испытаниях на устойчивость; наземных вибрационных испытаниях (испытания в аэродинамической трубе); модальных испытаниях; системе управления двигателем, системе наведения и т.д.
Химические МЭМС-датчики, представляющие собой высокотемпературный сенсорный массив, подобный электронным носам, используются для обнаружения и контроля выхлопов авиационных и автомобильных двигателей. Определение состава выхлопных газов в выхлопной системе осуществляется путем анализа сигналов, генерируемых электронным носом.
МЭМС-датчики давления широко используются в полетах, летных испытаниях, испытаниях двигателей, испытаниях на прочность конструкций, испытаниях в аэродинамических трубах, а также в процессах изготовления и производства оборудования. Измерение давления характеризуется следующими особенностями: существует множество типов измеряемого давления, охватывающих широкий диапазон, и множество точек измерения давления, требующих высокой точности измерения. Аэрокосмическая отрасль объединяет современные передовые производственные технологии, информационные технологии и технологии производства материалов, что предъявляет повышенные требования к датчикам. Направление развития МЭМС-датчиков - многофункциональное, миниатюрное, интеллектуальное и интегрированное. По мере дальнейшего повышения надежности и снижения цены продукции, а также непрерывного совершенствования и улучшения технологии производства применение МЭМС-датчиков в аэрокосмической области будет все больше заменять традиционные датчики.
Применение МЭМС-датчиков в биомедицинской промышленности
Прорыв в технологии МЭМС-датчиков привнес беспрецедентное удобство и опыт в медицинские приложения. В связи со старением населения вопросы охраны здоровья людей приобретают беспрецедентную важность. Вопросы здравоохранения приобретают беспрецедентную важность. Области диагностики in vitro, исследования лекарственных препаратов, мониторинга состояния пациентов, методов доставки лекарств и имплантируемых медицинских устройств постоянно развиваются, и системным интеграторам требуются инновационные технологии для быстрого повышения производительности, снижения стоимости и уменьшения размеров изделий.
Технология BioMEMS позволила улучшить сенсорные и исполнительные функции во всех этих областях с помощью микроустройств, таких как датчики ускорения, датчики давления, датчики потока и микронасосы. Применение датчиков давления в медицине называется медицинскими датчиками давления, и они должны обладать высокой точностью и компактными размерами, чтобы облегчить переноску, особенно если прибор должен быть непосредственно подключен к пациенту.
Малогабаритные датчики давления сегодня применяются в областях, подверженных человеческому фактору, например, в инфузионных насосах для введения лекарств. Этот датчик может точно измерять вес инфузионного мешка. Если вес жидкости отличается от заданного значения, датчик немедленно выдает предупреждающее сообщение на подключенное устройство и своевременно связывается с контроллером.
Основным компонентом датчика давления является фольгированный тензорезистор, в котором используется технология вакуумного напыления или напыления для прилипания к диэлектрическому слою за счет молекулярного сцепления материала. Эту технологию принято называть тонкопленочным методом. Идеальный тензодатчик должен иметь небольшие размеры, низкую стоимость, высокую чувствительность к деформации в направлении нагрузки и не зависеть от изменения температуры окружающей среды.
Имплантируемые датчики должны иметь небольшие размеры, малый вес, быть совместимыми с организмом и при этом потреблять очень мало энергии. Что еще более важно, они не должны разрушаться с течением времени.
Поскольку эти датчики относятся к медицинским устройствам класса III, для их использования требуется разрешение Управления по контролю качества пищевых продуктов и лекарственных средств США (FDA). Как правило, датчики такого типа очень дороги и требуют квалифицированного хирургического вмешательства для пересадки. Необходимость в питании - одна из основных проблем, с которой сталкиваются имплантируемые датчики для нормальной работы. Датчики, способные функционировать без питания, являются наиболее совершенными. Пьезоэлектрические полимерные датчики имеют малые размеры, высокую надежность, не требуют внешнего питания и могут работать непрерывно в течение длительного времени. Датчики такого типа могут применяться в кардиостимуляторах, контролирующих активность пациента, а имплантируемые датчики позволяют отслеживать изменения сердечного ритма в режиме реального времени. Например, в связи с ростом крупной аневризмы в брюшной полости требуется удалить часть хрупкой артерии и заменить ее искусственно синтезированным трубчатым органом. В этот момент во время операции можно имплантировать датчик, который будет отслеживать утечку давления в месте хирургического вмешательства.
Кардиостимулятор генерирует сигнал от датчика при любой физической нагрузке. Кардиостимулятор принимает эти сигналы и заставляет сердце пульсировать соответствующим образом. Если пациент находится в состоянии покоя и сигнал равен нулю, кардиостимулятор заставляет сердце биться с нормальной частотой, например, около 70 ударов в минуту. Датчики могут различать различные виды деятельности, например, ходьбу, бег или другие физические нагрузки. Выходной сигнал датчика пропорционален величине движения.
MEMS-датчик ускорения предлагает неинвазивный метод обнаружения сердца плода и разрабатывает простой, интуитивно понятный и точный вспомогательный медицинский прибор между стетоскопом и допплеровским фетальным монитором для клинической диагностики и самоконтроля матери.
Сердечный ритм плода преобразуется в аналоговый сигнал напряжения с помощью датчика ускорения, а усиление разности достигается с помощью инструментального усилителя, используемого для предварительного усиления. Затем выполняется ряд промежуточных операций по обработке сигнала, таких как фильтрация, и с помощью АЦП аналоговый сигнал напряжения преобразуется в цифровой сигнал. С оптического разделительного устройства сигнал поступает на микроконтроллер для анализа и обработки и, наконец, выводит результаты обработки.
Разработанный на основе МЭМС-датчиков ускорения детектор сердечного ритма плода при соответствующей доработке может быть использован в качестве системы дистанционного мониторинга сердечного ритма плода. Центральный узел сбора, анализа и мониторинга сигналов на стороне больницы автоматически выдает результаты анализа, а врачи ставят диагноз. При возникновении каких-либо проблем беременная женщина должна быть своевременно оповещена о необходимости приехать в больницу. Данная технология позволяет беременным женщинам в любое время проверить состояние плода, обеспечивая здоровье плода и беременной женщины.
Биосенсор чувствителен к биологическим веществам и преобразует их концентрацию в электрические сигналы для обнаружения. Он представляет собой аналитический прибор, состоящий из иммобилизованных биологических чувствительных материалов в качестве распознающих элементов (включая ферменты, антитела, антигены, микроорганизмы, клетки, ткани, нуклеиновые кислоты и другие биологически активные вещества), соответствующих физико-химических преобразователей (таких как кислородные электроды, фоточувствительные трубки, полевые транзисторы, пьезоэлектрические кристаллы и т.д.) и устройств усиления сигнала. В клинической медицине наиболее ранним и широко используемым сенсором являются ферментные электроды. Микробиологические сенсоры могут быть созданы путем замены ферментов на микроорганизмы с различными биологическими характеристиками. Биосенсоры применяются для контроля различных бактерий, вирусов и их токсинов. Типичным представителем биосенсоров для анализа лекарственных препаратов является биосенсор SPR, представляющий собой разновидность поверхностного масочного резонансного анализа и технологию определения биомолекулярного связывания в реальном времени.
Наиболее распространенные области применения биосенсинга включают взаимодействие антител с антигенами, взаимодействие нуклеиновых кислот, взаимодействие ферментов, взаимодействие клеток и взаимодействие с использованием биомиметических материалов.
С развитием медицинских технологий все большее число приложений в здравоохранении используют МЭМС-устройства, что привело к активному росту рынка! МЭМС-датчики помогают Интернету вещей строить лучшую жизнь в интеллектуальном мире. Все взаимосвязано и интеллектуально воспринимается. С быстрым развитием коммуникационных технологий применение технологии МЭМС-датчиков позволяет всем интеллектуальным объектам взаимодействовать с реальным миром, что стимулирует развитие Интернета вещей.
Интернет вещей (IoT) - это сеть, которая подключает любой объект к Интернету для обмена информацией и коммуникации с целью интеллектуальной идентификации, позиционирования, отслеживания, мониторинга и управления. Одним словом, Интернет вещей - это "Интернет подключенных вещей".
С точки зрения структуры сети Интернет вещей можно разделить на уровень восприятия, сетевой уровень и уровень приложений. Уровень восприятия находится в нижней части трехзвенной структуры Интернета вещей и является его основой. Датчики, являясь важным компонентом уровня восприятия одной из трех иерархических структур Интернета вещей, преобразуют физические, химические и биологические величины реального мира в цифровые сигналы, которые могут быть обработаны, что является основой и предпосылкой для создания Интернета вещей.
Активное развитие Интернета вещей и широкое применение интеллектуальных терминалов привели к значительному росту спроса на сенсорную продукцию, и акцент постепенно смещается в область МЭМС-датчиков с более высоким технологическим содержанием. Технология МЭМС широко используется в сфере Интернета вещей, охватывая множество областей, таких как носимые устройства, умные дома, здравоохранение, Индустрия 4.0, умные автомобили и умные города.
Люди участвуют во всестороннем общении и обмене информацией через массивную интеллектуальную сетевую инфраструктуру, которую разделяют сотни миллионов людей по всему миру, и достигают повсеместного обнаружения, идентификации, контроля и предоставления услуг путем интеграции связанных физических объектов и виртуального анализа.
В будущем мире бесконечных ощущений и взаимосвязи всего со всем существуют различные интеллектуальные технологии: беспилотные автомобили будут автоматически управлять транспортным средством, делая вождение более безопасным; "умная" бытовая техника обеспечит удобное и комфортное ведение домашнего хозяйства и услуги безопасности; фабрики по производству растений точно отслеживают процесс производства урожая и решают проблему нехватки продовольствия, вызванную изменением климата; "Индустрия 4.0" обеспечивает безопасное и эффективное взаимодействие человека и машины, повышает выход и качество продукции; медицинская сеть дальнего действия обеспечивает более качественные и удобные медицинские услуги; интеллектуальные сети повышают энергоэффективность городов, стимулируют экономический рост и снижают глобальный парниковый эффект. Для частных лиц мобильные и носимые устройства обеспечат повсеместное предоставление информационных услуг и повседневный уход. Кроме того, традиционные промышленные приложения, такие как медицина, навигация, военное дело, авиация, сейсморазведка и управление технологическими процессами, используют технологию сенсорных компонентов MEMS для формирования нового типа промышленного Интернета вещей.
Датчики на основе технологии MEMS характеризуются низким энергопотреблением, высокой точностью и малыми размерами, что позволяет им соответствовать интеллектуальному миру взаимосвязанных вещей. Разработка, проектирование и рыночные инвестиции в новые МЭМС-датчики делают возможными более разнообразные и красочные приложения IoT, что способствует тому, что наша жизнь становится более красочной.
Компания Join Sunny предлагает разнообразные высокоточные гироскопы MEMS. Если вы хотите получить дополнительные технические данные и предложения, пожалуйста, обращайтесь к нам в любое время.
Сообщение Просмотров: 0
Поделиться статьей
Post Views:
0